168体育（中国）有限责任公司
诚信 创建168体育
联系电话
135-6098-6666
135-0012-6000
168体育（中国）有限责任公司
诚信 创建168体育
联系电话
135-6098-6666
135-0012-6000
电话：135-0012-6000 135-6098-6666
网址：2008andbeyond.com
地址：河源市江东新区东江金珠工业园高望地段
四氟化碳是一种卤代烃，化学式CF4。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。零下198 °C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。
用途
1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
2.是微电子工业中用量DA的等离子蚀刻气体，四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术 。
电话：135-0012-6000 135-6098-6666
网址：2008andbeyond.com
地址：河源市江东新区东江金珠工业园高望地段
气体业务联系
手机站
